সেমিকন্ডাক্টর স্পেশালিটি গ্যাস সিস্টেমে ব্রাস ফিটিংগুলির বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণ
সেমিকন্ডাক্টর স্পেশালিটি গ্যাস সিস্টেমের পরিচিতি
সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন প্রক্রিয়াগুলি আল্ট্রা - পরিষ্কার, অত্যন্ত নিয়ন্ত্রিত পরিবেশের দাবি করে।
বিশেষ গ্যাস বিতরণ সিস্টেমগুলি এচিং, জবানবন্দি, ডোপিং এবং পরিষ্কারের পদক্ষেপে গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে।
সিলেন, অ্যামোনিয়া, হাইড্রোজেন ক্লোরাইড এবং নাইট্রোজেন ট্রাইফ্লোরাইডের মতো গ্যাসগুলির জন্য উচ্চ - বিশুদ্ধতা পরিবহন পাথ প্রয়োজন।
ব্রাস ফিটিংগুলি যদিও সর্বদা প্রথম পছন্দ নয়, কখনও কখনও মাধ্যমিক লাইন বা সমর্থন সিস্টেমে প্রয়োগ করা হয়।
রক্ষণাবেক্ষণরাসায়নিক বিশুদ্ধতা এবং কাঠামোগত অখণ্ডতাদূষণ এড়াতে পিতল ফিটিংগুলির গুরুত্বপূর্ণ।
অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে উপাদান বিশুদ্ধতার গুরুত্ব
সেমিকন্ডাক্টরগুলি আণবিক - স্তরের অমেধ্যগুলির প্রতি অত্যন্ত সংবেদনশীল।
এমনকি অংশগুলি - প্রতি - বিলিয়ন (পিপিবি) পাইপিং বা ফিটিংগুলি থেকে দূষণের ফলে ফলন ক্ষতি বা ডিভাইস ব্যর্থতা হতে পারে।
গ্যাস লাইনে আউটগ্যাসিং, জারা বা পৃষ্ঠের প্রতিক্রিয়াগুলি শক্তভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে হবে।
এটি গ্যাস সিস্টেম ডিজাইনের কেন্দ্রীয় উপাদান নির্বাচন এবং বিশুদ্ধতা পরিচালনকে কেন্দ্র করে।
ব্রাস, যথাযথ সমাপ্তি এবং মান নিয়ন্ত্রণের সাথে, এই মানগুলি নন - সমালোচনামূলক গ্যাস লাইনে পূরণ করতে পারে।
ব্রাস উপাদান রচনা এবং উদ্বেগ
স্ট্যান্ডার্ড ব্রাস হ'ল তামা এবং দস্তা একটি মিশ্রণ, কখনও কখনও সীসা বা টিনযুক্ত।
সালফার, ফসফরাস বা অবশিষ্ট তেলগুলির মতো অমেধ্য বিশুদ্ধতার স্তরের সাথে আপস করতে পারে।
উচ্চ - লিড ব্রাস ক্লিনরুম বা অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে কঠোরভাবে এড়ানো যায়।
শুধুমাত্রনিম্ন - সীসা, ডিজিঙ্কিফিকেশন - প্রতিরোধী (ডিজেআর)ব্রাস এই জাতীয় পরিবেশের জন্য বিবেচনা করা উচিত।
নির্মাতাদের অবশ্যই সরবরাহ করতে হবেউপাদান শংসাপত্রসেমি, এএসটিএম বা আরওএইচএস স্ট্যান্ডার্ডগুলির সাথে সম্মতি নিশ্চিত করা।
পৃষ্ঠ ফিনিস এবং ইলেক্ট্রোপোলিশিং প্রয়োজনীয়তা
ব্রাস ফিটিংগুলির অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠের সমাপ্তি গ্যাস সিস্টেমের পরিষ্কার -পরিচ্ছন্নতার উপর ব্যাপকভাবে প্রভাবিত করে।
রুক্ষ বা ছিদ্রযুক্ত পৃষ্ঠগুলি আর্দ্রতা, হাইড্রোকার্বন এবং কণাকে ফাঁদে ফেলে, দীর্ঘ - শব্দ দূষণ সৃষ্টি করে।
এটির বিরুদ্ধে লড়াই করার জন্য, ফিটিংগুলি প্রায়শই হয়বৈদ্যুতিনএকটি মসৃণ, প্যাসিভেটেড অভ্যন্তরীণ পৃষ্ঠ অর্জন করতে।
লক্ষ্য পৃষ্ঠের রুক্ষতা (আরএ) সাধারণত এর চেয়ে কম0.2 µmগ্যাস বিতরণ লাইনের জন্য।
পোস্ট - পলিশিং, ফিটিংগুলি পরিষ্কার করার মধ্য দিয়ে যায়আল্ট্রাপিউর দ্রাবকএরপরে ভ্যাকুয়াম শুকানো এবং নাইট্রোজেন শুদ্ধ হয়।
কণা নিয়ন্ত্রণ এবং ক্লিনরুম প্যাকেজিং
সেমিকন্ডাক্টর গ্যাস সিস্টেমের জন্য ব্রাস ফিটিংগুলি অবশ্যই কঠোরভাবে দেখা করতে হবেকণা গণনা স্পেসিফিকেশন.
যে কোনও আলগা কণা বা ধাতব ফ্লেক্স গ্যাস - সংবেদনশীল ওয়েফারগুলির জন্য বিপর্যয়কর হতে পারে।
এটি সম্বোধন করার জন্য, ফিটিংগুলি উচ্চ - বিশুদ্ধতার মধ্য দিয়ে যায়অতিস্বনক পরিষ্কারডিআই ওয়াটার এবং ক্লাস 100 ক্লিনরুমের মান ব্যবহার করে।
একবার পরিষ্কার হয়ে গেলে ফিটিংগুলি হয়ডাবল - ব্যাগডপুনঃনির্মাণ প্রতিরোধের জন্য ক্লিনরুমে - গ্রেড প্যাকেজিং।
লেবেলগুলিতে প্রায়শই প্রচুর ট্রেসেবিলিটি, পরিষ্কার ব্যাচের তথ্য এবং আর্দ্রতা নিয়ন্ত্রণ সূচক অন্তর্ভুক্ত থাকে।
রাসায়নিক স্থিতিশীলতার জন্য প্যাসিভেশন এবং আবরণ
যেহেতু ব্রাস স্টেইনলেস স্টিলের চেয়ে বেশি প্রতিক্রিয়াশীল, তাই পৃষ্ঠের প্যাসিভেশন অত্যন্ত গুরুত্বপূর্ণ।
প্যাসিভেশন পদ্ধতির মধ্যে নিয়ন্ত্রিত জারণ, ক্রোম - ফ্রি লেপস, বানিকেল ধাতুপট্টাবৃত.
নিকেল বা তড়িৎবিহীন নিকেল আবরণগুলি দস্তা লিচিং বা জারণ রোধ করতে বাধা স্তর হিসাবে কাজ করে।
এই আবরণ এইচএফ বা সিএলএফ ₃ এর মতো গ্যাসগুলির সাথে রাসায়নিক সামঞ্জস্যতাও বাড়ায় ₃
নিয়মিত লেপ বেধ চেক এবং আঠালো পরীক্ষা চাপযুক্ত সিস্টেমে স্থায়িত্ব নিশ্চিত করে।
পরিদর্শন, শংসাপত্র এবং ট্রেসেবিলিটি
উচ্চ - বিশুদ্ধতা ব্রাস ফিটিংগুলি অবশ্যই পাস করতে হবেমাল্টি - স্তর পরিদর্শনগ্যাস লাইনে সংহতকরণের আগে।
পরীক্ষার অন্তর্ভুক্ত:
হিলিয়াম ফাঁস পরীক্ষা (সাধারণত<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
অবশিষ্ট গ্যাস বিশ্লেষণ (আরজিএ)
মাইক্রোবালেন্স কণা শেডিং পরীক্ষা
উপাদান যাচাইয়ের জন্য এক্সআরএফ বা আইসিপি - এমএস
প্রতিটি ফিটিং সম্পূর্ণরূপে হওয়া উচিতপ্রচুর সংখ্যা দ্বারা ট্রেসযোগ্য, সম্পর্কিত সাথেকনফরমেশন শংসাপত্র (সিওসি).
কিছু সুবিধার জন্য তৃতীয় - পার্টি অডিট বা আইএসও 14644 শংসাপত্রের ডকুমেন্টেশন প্রয়োজন।
অ্যাপ্লিকেশন সীমানা এবং বিকল্প
যদিও ব্রাস বিশুদ্ধতার মানদণ্ড পূরণ করতে পারে তবে এর ব্যবহার হ'লনন - সমালোচনামূলক পাথগুলিতে সীমাবদ্ধসেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলিতে।
আল্ট্রা - উচ্চ বিশুদ্ধতা (ইউএইচপি) গ্যাস লাইনের জন্য,ভিসিআর বা অরবিটাল ওয়েল্ডগুলির সাথে 316L স্টেইনলেস স্টিলপছন্দ করা হয়।
ব্রাস ফিটিংগুলি এক্সস্টাস্ট সিস্টেম, শুদ্ধ রেখাগুলিতে বা প্রয়োগ করা যেতে পারেকুলিং জল সিস্টেম প্রক্রিয়া.
যখন সঠিকভাবে নির্বাচিত হয় এবং যথাযথভাবে চিকিত্সা করা হয়, তখন ব্রাস একটি ব্যয় - কার্যকর, স্থিতিশীল সমাধান সরবরাহ করে।
লেপ এবং পরিষ্কারের প্রযুক্তিতে ভবিষ্যতের অগ্রগতিগুলি অর্ধপরিবাহী অ্যাপ্লিকেশনগুলিতে এর ইউটিলিটি প্রসারিত করতে পারে।
উপসংহার
সেমিকন্ডাক্টর স্পেশালিটি গ্যাস সিস্টেমের জন্য ব্রাস ফিটিংগুলিতে বিশুদ্ধতা নিয়ন্ত্রণ জটিল এবং প্রয়োজনীয় উভয়ই।
উপাদান নির্বাচন থেকে সারফেস ফিনিশিং এবং প্যাকেজিং পর্যন্ত প্রতিটি পদক্ষেপ গ্যাসের গুণমানকে প্রভাবিত করে।
যদিও ব্রাস উচ্চ - বিশুদ্ধ অ্যাপ্লিকেশনগুলির জন্য আদর্শ নয়, উন্নত চিকিত্সা এবং মান নিয়ন্ত্রণ এটি নির্বাচিত অঞ্চলগুলিতে কার্যকর করতে পারে।
কঠোর পরিদর্শন, প্যাসিভেশন এবং শংসাপত্রের মাধ্যমে, এই ফিটিংগুলি নিরাপদে পরবর্তী - প্রজন্মের চিপ উত্পাদন পরিবেশকে সমর্থন করতে পারে।
যোগাযোগ ইফান
ফোন:+86 15088288323
